表面状態検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-160012
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327558
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】光ビームで走査して対象物の表面に付着している凸部を精度良く検出することのできる表面状態検査装置を得ること。【構成】光源手段からの光ビームを用いて走査手段で対象物を走査する際、該光ビームによる該対象物上における走査線と該光ビームによる該対象物上の走査点における接線とで形成される走査平面に対して、該光ビームの入射側と反対側の空間内に受光素子を設け、該受光素子により該走査平面よりも該光ビームの入射側の空間内に突出した該対象物上の凸部材から生じる散乱光を検出し、該受光素子からの出力信号を利用して該対象物上の表面状態を検査していること。

請求項（抜粋）：

光源手段からの光ビームを用いて走査手段で対象物を走査する際、該光ビームによる該対象物上における走査線と該光ビームによる該対象物上の走査点における接線とで形成される走査平面に対して、該光ビームの入射側と反対側の空間内に受光素子を設け、該受光素子により該走査平面よりも該光ビームの入射側の空間内に突出した該対象物上の凸部材から生じる散乱光を検出し、該受光素子からの出力信号を利用して該対象物上の表面状態を検査していることを特徴とする表面状態検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G02B 6/00 301

FI (3件)：

G01N 21/88 E , G01B 11/30 C , G02B 6/00 301

引用特許：

審査官引用 (4件)

容器の外被物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-285764 出願人：株式会社キリンテクノシステム
特開昭52-091935
表面状態検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-164228 出願人：キヤノン株式会社

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