特許
J-GLOBAL ID：200903056689538437
加熱方法および加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-044651
公開番号（公開出願番号）：特開2006-229168
出願日： 2005年02月21日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】被処理部材の構成によらず、目的とする熱処理を効率よく行う加熱方法およびこの加熱方法を行う加熱装置を提供すること。【解決手段】加熱装置1は、チャンバー6と、チャンバー6内の上部に設けられた光源2と、チャンバー6内の下部に設けられ、被処理部材3を載置するステージ(設置部)5と、光源2とステージ5との間に設けられた光熱変換手段4とを有している。そして、光熱変換手段4が、光源2から照射される光を吸収して発熱することにより、被処理部材3を加熱することができる。また、装置各部の条件設定を変化させることにより、被処理部材3に与える熱量を調整し、熱処理を精度よく制御することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光熱変換手段に対して、光源と反対側に被処理部材を配置し、
前記光源から照射された光を、前記光熱変換手段により熱に変換し、この熱により前記被処理部材を加熱することを特徴とする加熱方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/265 602A
, H05B3/00 330Z
