特許
J-GLOBAL ID：200903056696735043
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-032615
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068512
出願日： 1996年01月26日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【構成】 耐熱絶縁基板4の一方の主面にヒータ膜8と厚膜の電極パッド6を設け、裏面の金属酸化物半導体膜にスルーホール16で接続する。パッド6はAu-Pt等の金合金とし、Pt-W等のリード20に接続する。【効果】 金合金パッドは基板との付着力が増し、ガスセンサの温度を周期的に変化させてもパッドの剥離が生じない。またパッドとリードとの接続強度が高い。
請求項（抜粋）：
耐熱絶縁基板に、ガスにより抵抗値が変化する金属酸化物半導体膜とヒータ膜と複数の厚膜電極パッドとを設けて、該複数の厚膜電極パッドに前記金属酸化物半導体膜と前記ヒータ膜,及びリードを接続したガスセンサにおいて、前記複数の厚膜電極パッドが金を含有する合金からなるなることを特徴とするガスセンサ。
FI (2件)：
G01N 27/12 C
, G01N 27/12 B
