酸化珪素質被膜形成用塗布液

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330304
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172708
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【目的】ジルコニウム塩を使用し、キレート化剤を添加することにより、安定でかつ400°C以下の低温で被膜形成が可能な塗布液を提供する。【構成】ジルコニウム塩、シリコンアルコキシド、キレート化剤、水および希釈用有機溶媒からなる酸化珪素質被膜形成用塗布液。

請求項（抜粋）：

ジルコニウム塩、シリコンアルコキシドまたはその誘導体、キレート化剤、水および希釈用有機溶媒からなり、ジルコニウム塩中のZrの1モルに対してキレート化剤を2〜40モル添加することを特徴とする酸化珪素質被膜形成用塗布液

引用特許：

審査官引用 (4件)

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