特許

J-GLOBAL ID：200903056739583099

加速度センサ

発明者： 根本 道夫
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-022518
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220133
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 小型安価な2軸方向の加速度を検出できる加速度センサを提供すること。【構成】 重り部11aは梁部11bに支持され、印加加速度に応じて変位する。絶縁基板22及び23には、それぞれ電極部22b及び23bが形成されており、これら電極部はA方向において重り部と対向している。これによって、第1及び第2の静電容量が形成される。絶縁基板24及び25には、それぞれ電極部24b及び25bが形成されており、これら電極部はB方向において重り部と対向している。これによって、第3及び第4の静電容量が形成される。重り部に加速度が印加された際、第1及び第2の静電容量の変化分によってA方向の加速度を検出し、第3及び第4の静電容量の変化分によってB方向の加速度を検出する。

請求項（抜粋）：

印加された加速度に応じてその位置が変位する重り部と、所定の第1の方向において前記重り部と対向して前記重り部とそれぞれ第1及び第2の静電容量を形成するための第1及び第2の電極部と、前記第1の方向に直交する第2の方向において前記重り部と対向して前記重り部とそれぞれ第3及び第4の静電容量を形成するための第3及び第4の電極部とを有し、前記第1及び前記第2の静電容量の変化分に応じて前記第1の方向における加速度を検出して、前記第3及び前記第4の静電容量の変化分に応じて前記第2の方向における加速度を検出するようにしたことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

G01P 15/125 ,  H01L 29/84 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 多次元加速度検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-046489   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-204575   出願人：株式会社村田製作所