特許
J-GLOBAL ID：200903056749336324
エキシマレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253240
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077446
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 モータの回転駆動力を非接触で回転軸に伝達する際に、磁気カップリング部のシールド隔壁で生じる発熱を防止でき、回転軸の密閉空間中に、レーザガスを汚染する不純ガスを混入させないエキシマレーザ装置用磁気軸受。【解決手段】 レーザチャンバ1内に設置された放電励起部2と、レーザガス循環用ファン4を取り付けた回転軸3を包囲する形で密閉空間を形成するシールド隔壁61と、回転軸側に設置したロータ部32とシールド隔壁の外部に設置したステータ部6から成り、回転軸を非接触軸支する制御型磁気軸受と、レーザチャンバ外部に設置された駆動モータ13と、回転軸に駆動モータ13の駆動力をシールド隔壁を介して非接触伝達する磁気カップリング部33,11,121と、ステータ部に対するロータ部32の位置を検出する回転軸センサ8,9を備え、磁気カップリング部のシールド隔壁11をセラミックで形成し、磁気軸受のシールド隔壁61を金属で形成した。
請求項（抜粋）：
ハロゲンガスを含むレーザガスが封入されたレーザチャンバと、このレーザチャンバ内に設置された放電励起部と、前記レーザチャンバ内のレーザガスを循環させるガス循環用ファンを取り付けた回転軸と、この回転軸を非接触で支持する磁気軸受部と、前記レーザチャンバ外部に設置された前記回転軸を介してガス循環用ファンを回転させる駆動モータと、前記回転軸に前記駆動モータの回転駆動力を非接触で伝達する磁気カップリング部とからなるエキシマレーザ装置において、前記磁気軸受部のステータ部と回転軸に取り付けられた前記磁気軸受部のロータ部との間の隙間、および、前記磁気カップリング部の駆動側磁石と回転軸に取り付けられた受動側磁石との間の隙間に前記レーザチャンバの側壁の一部であって前記回転軸の存在する空間が前記レーザチャンバ内と連続する密閉空間であるようにするシールド隔壁を設け、前記シールド隔壁は前記磁気軸受部においては金属により形成され、前記磁気カップリング部においてはセラミックスで形成されていることを特徴とするエキシマレーザ装置。
Fターム (5件)：
5F071AA06
, 5F071EE04
, 5F071HH02
, 5F071HH04
, 5F071JJ03
