特許

J-GLOBAL ID：200903090838900202

磁気軸受け支持ファンを有するエキシマレーザ

発明者： カマール サーカー ,  リチャード シー ウイザドウスキー ,  パラシュ ピー ダス ,  ドナルド ジー ラーソン
出願人/特許権者： サイマー インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197140
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087810
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 高繰り返し数電気放電ガスレーザを提供することにある。【解決手段】 レーザガス及びレーザガスを循環させるためのファン(46)を収容したレーザキャビティを有する電気放電ガスレーザを提供する。ファンは能動磁気軸受け装置(20、22)で支持され、ブラシレス直流モータで駆動され、モータのロータ(134)及び少なくとも2つの軸受けのロータ(28)がレーザキャビティのガス環境内で密封され、モータのステータ(140)及び軸受け磁石のコイルがガス環境の外側に置かれる。

請求項（抜粋）：

A. 内部レーザキャビティを形成する壁を有するハウジング構造、B. レーザキャビティ内に位置した、レーザ作用の可能なガス、C. レーザキャビティ内に位置し、間に電気放電領域を形成する一対の間隔を隔てた細長い電極、前記電気放電領域は、該放電領域内なのガスを、電極間の電気放電に従ってレーザ作用まで励起し、D. レーザキャビティ内に位置したシャフトを有し、ガスを放電領域を通して循環させるためのファン、E. ステータと、ファンに回転を与えるためのロータとを有するブラシレス直流モータ、F. 各々、ステータと、モータと、位置センサーとを有し、半径方向支持を前記シャフトに与えるための、少なくとも2つ磁気軸受け、G. 前記モータのロータ及び前記少なくとも2つの磁気軸受けは各々前記軸に直接又は間接的に連結され、H. 前記ロータと前記ステータとの間に介在され、前記ロータを包囲する少なくとも1つの密封部材、前記密封部材は、前記ロータをガス環境内に効果的に密封させ、ロータをガス環境の外に置くためにハウジング構造に対して密封する、電気放電ガスレーザ。

IPC (2件)：

H01S 3/036 ,  H01S 3/225

FI (2件)：

H01S 3/03 J ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-205584
  
• 高速軸流型ガスレーザ発振器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-147192   出願人：松下電器産業株式会社