特許
J-GLOBAL ID：200903056755907279

高温計測用半導体式圧力センサ

発明者：
篠原 康英

篠原 康英 について

, 
青井 英勝

青井 英勝 について


出願人/特許権者：
ミネベア株式会社

ミネベア株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051884
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257658
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】【課題】 圧力を検出する気体や液体の被圧力検出体に薬品剤が入っていてもその薬品環境下での影響を受けることなく圧力を検出することができる高温計測用半導体式圧力センサを提供する。【解決手段】 本発明の高温度計測用半導体式圧力センサ10は、感圧抵抗素子14を積層する結晶質サファイア層13と、底部11Bと中空部11Aとを一体に形成し底部11Bの内側に結晶質サファイア層13を接合し、外側をチタン酸化層16で被覆するボディー本体部11とを備え、底部11Bを受圧部とし前記受圧部の外側にかかる圧力を検出することとした。
請求項（抜粋）：
感圧抵抗素子を積層する結晶質サファイア層と、中空部と底部とを一体に形成し前記底部の内側に前記結晶質サファイア層を接合し、外側をチタン酸化層で被覆するボディー本体部とを備え、前記底部を受圧部とし前記受圧部の外側にかかる圧力を検出することを特徴とする高温計測用半導体式圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14 ,  H01L 29/84 A
Fターム (17件)：
2F055AA21 ,  2F055AA31 ,  2F055AA39 ,  2F055BB19 ,  2F055CC02 ,  2F055DD19 ,  2F055EE13 ,  2F055FF11 ,  2F055FF38 ,  2F055FF43 ,  2F055GG25 ,  4M112CA07 ,  4M112CA12 ,  4M112EA11 ,  4M112EA20 ,  4M112FA08 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 特表平5-507150
  • 半導体圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-257035   出願人：松下電工株式会社
  • 圧電型圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-188536   出願人：松下電器産業株式会社
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