特許

J-GLOBAL ID：200903056758969780

フルオレンジカルボン酸エステルおよび感光性樹脂組成物

発明者： 村瀬 裕明 ,  緒方 和幸 ,  藤木 剛 ,  阪本 浩規 ,  川崎 真一 ,  山田 光昭
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 鍬田 充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-328519
公開番号（公開出願番号）：特開2005-089422
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】 レジストの感度や解像度を著しく向上できる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下記式(1)で表される新規なフルオレンジカルボン酸エステルと、ベース樹脂と、感光剤(光酸発生剤など)とで感光性樹脂組成物を構成する。【化1】 (式中、R1およびR2は、同一又は異なってアルキル基を示し、R3は置換基を有していてもよい二価の炭化水素基を示し、R4はカルボキシル基に対する保護基を示す。mおよびnは、同一又は異なって、0〜4の整数である。ただし、R3はアリーレン基ではない。) 前記保護基R4は、疎水性保護基であってもよく、この疎水性保護基が、酸(光酸発生剤などから発生する酸など)の作用により脱離してカルボキシル基を生成可能であってもよい。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表されるフルオレンジカルボン酸エステル

IPC (5件)：

C07C69/616 ,  C07C67/343 ,  C07C67/347 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (5件)：

C07C69/616 ,  C07C67/343 ,  C07C67/347 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (23件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AB76 ,  4H006AC23 ,  4H006BA51 ,  4H006BA69 ,  4H006BJ50 ,  4H006KA31 ,  4H039CA19 ,  4H039CD10 ,  4H039CF10 ,  4H039CG20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 光活性化合物および感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-094756   出願人：株式会社関西新技術研究所

審査官引用 (2件)

• ジカルボン酸化合物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-380233   出願人：アドケムコ株式会社
• 特許第1262707号
  

引用文献：

審査官引用 (3件)

• Synthesis, 1984, No.2, p.164-166
• Tetrahedron Letters, 1964, Vol.5, p.7-9
• 新実験化学講座 14 有機化合物の合成と反応 V, 19780720, 2535-2544頁