特許
J-GLOBAL ID：200903056782363167
干渉測長器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267411
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120211
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】レーザ光の波長を変化させている期間に光路差が変化しても測定誤差が生じないようにした干渉測長器を提供する。【構成】互いに波長の異なるレーザ光を送出する一対のレーザ光源1a,1bを設ける。また、各レーザ光源1a,1bではレーザ光の波長が掃引される。各レーザ光源1a,1bからのレーザ光はビームスプリッタ3aにより同一光路を通るように合成され、ビームスプリッタ4aで参照光と物体光とに分離される。物体光は被測定物体Sに照射され、参照鏡6で反射された参照光と被測定物体Sでの後方散乱光とがビームスプリッタ4aの上で干渉する。ダイクロイックミラー5aは各波長ごとに干渉強度を分離し、対応する受光素子2a,2bによって干渉強度を検出する。両受光素子2a,2bで求めたビート信号の位相差に基づいて演算処理部24では被測定物体Sまでの距離を求める。
請求項（抜粋）：
互いに分離可能なレーザ光をそれぞれ送出する一対のレーザ光源と、各レーザ光源から送出されるレーザ光の波長をそれぞれ変化させる波長制御手段と、両レーザ光源から送出されたレーザ光が同じ光路を通るように光路を合わせる光混合器と、光混合器を通過して一つの光路上を伝達される2種のレーザ光をそれぞれ物体光と参照光とに分離するとともに物体光の被測定物体での後方散乱光と規定の光路を通過した参照光とを干渉させる光分配混合器と、光分配混合器での干渉強度の変化を各レーザ光ごとに分離する光分配器と、光分配器により分離された各レーザ光ごとの干渉強度の変化に基づいて各レーザ光ごとに物体光の参照光に対する位相差を求めるとともに、両位相差に基づいて被測定物体までの距離を演算する演算処理部とを備えることを特徴とする干渉測長器。
引用特許：
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