特許

J-GLOBAL ID：200903056836155336

薄膜トランジスタの評価方法

発明者： 浦岡 行治 ,  筒 博司 ,  宮田 豊
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-038043
公開番号（公開出願番号）：特開平9-229982
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示装置のアレーモジュールのように多数の薄膜トランジスタがマトリックス状に配列されている場合のトランジスタの特性検査及び信頼性評価を容易かつ迅速に行う方法を提供する。【解決手段】 薄膜トランジスタが動作する時に、ホットキャリア効果によって非常に微弱な発光が生ずる。この発光を定量的に評価し、発光量の二次元分布を求めることによって特性不良や信頼性不良のトランジスタを迅速に特定する。このために、フォトンカウントカメラを評価対象のアレーモジュールの上方に設置し、アレーモジュールを実際に動作させながら発光量をカウントする。

請求項（抜粋）：

動作中のトランジスタから放出される微弱な発光を検出することにより、特性検査を行うことを特徴とする薄膜トランジスタの評価方法。

IPC (3件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/00 ,  G01R 31/26 B ,  H01L 21/66 V