特許

J-GLOBAL ID：200903056874046052

フッ素系界面活性剤及びその組成物

発明者： 田中 一義 ,  高野 聖史 ,  橋本 豊
出願人/特許権者： 大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-015407
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209787
出願日： 1998年01月28日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】消泡性、リコート性、現像等の後加工性を実用レベルにまで引き上げ、さらに高速、高剪断力を伴う過酷な塗工方法に対しても優れたレベリング性を有するフッ素系界面活性剤及びその組成物を提供する。【解決手段】有機溶媒中での表面損失エネルギーが110×10-5mJ以下であり、分子中にフッ素化アルキル基を有する化合物からなるフッ素系界面活性剤及び水あるいは水と有機溶媒との混合溶媒中での表面損失エネルギーが7000×10-5mJ以下であり、分子中にフッ素化アルキル基を有する化合物からなるフッ素系界面活性剤及びそれを含む組成物に関する。

請求項（抜粋）：

有機溶媒中での表面損失エネルギーが110×10-5mJ以下であり、分子中にフッ素化アルキル基を有する化合物からなるフッ素系界面活性剤。

IPC (14件)：

C11D 1/04 ,  B01F 17/52 ,  B01F 17/54 ,  C08F 20/24 ,  C08F 30/08 ,  C08F290/06 ,  C09D 7/06 ,  C11D 1/12 ,  C11D 1/34 ,  C11D 1/68 ,  C11D 1/72 ,  C11D 1/722 ,  C11D 1/74 ,  G03F 7/004 504

FI (14件)：

C11D 1/04 ,  B01F 17/52 ,  B01F 17/54 ,  C08F 20/24 ,  C08F 30/08 ,  C08F290/06 ,  C09D 7/06 ,  C11D 1/12 ,  C11D 1/34 ,  C11D 1/68 ,  C11D 1/72 ,  C11D 1/722 ,  C11D 1/74 ,  G03F 7/004 504

引用特許：

審査官引用 (5件)

• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-196882   出願人：三菱化学株式会社
• 特開平4-222805
  
• 特開平3-030825
  
• 特許第4055217号
  
• フッ素系界面活性剤及びそれを使用した組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-122145   出願人：大日本インキ化学工業株式会社