特許
J-GLOBAL ID：200903056893523872

表面検査装置

発明者：
宮川 一宏

宮川 一宏 について

, 
岩 陽一郎

岩 陽一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社トプコン

株式会社トプコン について


代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-333858
公開番号（公開出願番号）：特開2006-145305
出願日： 2004年11月18日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】 表面検査装置において、被検面の略全面を検査する場合にも効率的に検査を行うことができるとともに、被検面が粗面の場合にもノイズ成分の重畳を防止する。 【解決手段】 被検面の所定領域P0に対してレーザ光L0′を照射し、所定領域P0内の互いに異なる4つの小領域P1〜P4からの各正反射光L1〜L4を、4つの開口を有する視野絞り53により空間的に分離して通過させるとともに、これら4つの開口に、各正反射光L1〜L4を互いに異なる4つの偏光成分として通過させる偏光素子61〜64が配設され、各小領域P1〜P4に対応した偏光成分M1〜M4が視野絞り53の全ての開口を順次通過するように、xy2次元走査ステージ20がレーザ光L0′に対して被検面を変位させることにより、各小領域P1〜P4ごとにそれぞれ4つの偏光成分M1〜M4の光強度を検出する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
所定の薄膜が形成された被検面の所定領域に対して光源から出射した偏光状態が既知の光束を照射光学系により照射し、前記所定領域で反射した反射光の光強度を互いに異なる複数の偏光成分ごとに検出することにより、前記反射光の偏光状態を検出し、この検出された偏光状態に基づいて前記薄膜の膜厚および該薄膜の物性のうち少なくとも1つを求める表面検査装置において、 前記所定領域のうち前記光強度を検出する前記偏光成分の数に応じた互いに異なる複数の小領域からの各反射光を空間的に分離して通過させる、レンズおよび前記小領域の数に対応した数の開口を有する視野絞りと、前記視野絞りの各開口を通過した前記各反射光の光路上にそれぞれ配設された、互いに異なる偏光成分を通過させる偏光素子と、前記各偏光素子を通過した各反射光の光強度を各別に検出する光強度検出手段と、前記各小領域からの各反射光が前記視野絞りの全ての開口を順次通過するように、前記光束を前記被検面に対して走査させる走査手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/06 ,  G01J 4/04 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/88
FI (4件)：
G01B11/06 Z ,  G01J4/04 Z ,  G01N21/21 Z ,  G01N21/88 H
Fターム (54件)：
2F065AA30 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065FF44 ,  2F065FF49 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065MM03 ,  2F065MM16 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB20 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC20 ,  2G051CD03 ,  2G051DA05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK03 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  2G059MM14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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