特許

J-GLOBAL ID：200903056897774853

セラミックヒータおよびこれを用いたウエハ加熱装置

発明者： 山元 堅
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-185914
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019899
出願日： 2003年06月27日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】熱応力に対し、電極パッドに剥離やクラックが発生せず、温度分布の均一なセラミックヒータを提供。【解決手段】少なくとも主面を絶縁性主面4aとしたセラミック基材4の絶縁性主面4a上に発熱抵抗体2を形成し、その端部2aに電極パッド1を形成したセラミックヒータ10であって、電極パッド1は発熱抵抗体2の端部2aの中心部に形成され、電極パッド1の中心と電極パッド1の外周と発熱抵抗体2の端部2aの外周との距離が最短となる点を通る断面において、電極パッド1の外周と発熱抵抗体2上面との交点をA、点Aからセラミック基材4に対し垂直に引いた垂線とセラミック基材4の絶縁性主面4aとの交点をB、発熱抵抗体2の外周と絶縁性主面4aとの交点をCとし、上記点Aと点Bとの距離を発熱抵抗体2の端部2aの厚みT、上記点Bと点Cとの距離をLとした場合、1/500≦T/L≦1を満たすように形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも一方の主面が絶縁性であるセラミック基材と、セラミック基材の絶縁性主面上に形成した発熱抵抗体と、発熱抵抗体の端部に形成した電極パッドとからなるセラミックヒータであって、上記電極パッドは発熱抵抗体の端部の中心部に形成され、電極パッドの中心および電極パッドの外周と発熱抵抗体の端部の外周との距離が最短となる点を通る断面において、電極パッドの外周と発熱抵抗体上面との交点をA、点Aからセラミック基材に対し垂直に引いた垂線とセラミック基材の絶縁性主面との交点をB、発熱抵抗体の外周と絶縁性主面との交点をCとし、上記点Aと点Bとの距離を発熱抵抗体の端部の厚みT、上記点Bと点Cとの距離をLとした場合、1/500≦T/L≦1を満たすことを特徴とするウエハ加熱用セラミックヒータ。

IPC (5件)：

H01L21/02 ,  H01L21/31 ,  H05B3/02 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74

FI (6件)：

H01L21/02 Z ,  H01L21/31 A ,  H05B3/02 B ,  H05B3/20 328 ,  H05B3/20 393 ,  H05B3/74

Fターム (36件)：

3K034AA02 ,  3K034AA15 ,  3K034AA34 ,  3K034BA05 ,  3K034BA13 ,  3K034BA17 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034CA03 ,  3K034CA14 ,  3K034CA24 ,  3K034CA27 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QB02 ,  3K092QB30 ,  3K092QB43 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC19 ,  3K092QC42 ,  3K092QC49 ,  3K092QC53 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092VV31 ,  5F045BB01 ,  5F045DP02 ,  5F045EK09 ,  5F045EK21 ,  5F045EM06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウエハ加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-361754   出願人：京セラ株式会社
• セラミックヒータおよびホットプレートユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-288709   出願人：イビデン株式会社