走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031654
公開番号（公開出願番号）：特開平9-231934
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、電子顕微鏡および類似装置において、簡易な操作方法でターゲットの拡大像を得ることを目的とする。【解決手段】ポインティングデバイスが、GUIの部品を操作するのに使用されないエリア(本発明では、電子顕微鏡像表示エリア)に存在するときのポインティングデバイスのボタンにターゲットの移動および電子顕微鏡像倍率の変更等の機能をもたせることで、新たな視野表示操作方式を設けた。【効果】本発明を、実施すれば、ポインティングデバイスを最小の移動で、かつオペレータがターゲットから目を離さず、ターゲットの拡大像を得られるようになり、オペレーションの容易性および操作性が飛躍的に向上する。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡画像の拡大或いは縮小に伴って、電子線の照射領域を変化させる偏向手段を備えた走査電子顕微鏡であって、前記電子顕微鏡画像をその一部に含む表示画像上にポイントを表示する機能と、該ポイントを移動させるためのポインティングデバイスを備え、前記電子顕微鏡画像内に前記ポイントが位置するとき、前記ポインティングデバイスに設けられた少なくとも2つのスイッチは、それぞれ前記電子顕微鏡の像倍率の上昇,下降を調節するように機能することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/20 , H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/22 502 C , H01J 37/20 D , H01J 37/28 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-165479 出願人：日本電子株式会社
走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-097359 出願人：株式会社日立製作所
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-175127 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

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