特許
J-GLOBAL ID:200903056983040277

集積回路とその検査システム、検査装置、ならびに検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-308504
公開番号(公開出願番号):特開2005-077259
出願日: 2003年09月01日
公開日(公表日): 2005年03月24日
要約:
【課題】検査対象の集積回路の規模を増大させることなく、高速で、検査内容の変更にも柔軟に対応することができる検査システムとその方法ならびに検査装置を提供する。 【解決手段】検査モードにおいて、制御部20から集積回路10に対して検査プログラムが供給され、この検査プログラムが集積回路10のプロセッサ11において実行される。そして、制御部20からプロセッサ11に対して所望の検査手順に応じた制御信号が出力されると、プロセッサ11では、供給された検査プログラムに基づいてこの制御信号に応じた処理が行われる。これにより、回路ブロックに検査信号を入力してその処理動作を開始させる処理や、回路ブロックの出力結果を出力結果取得部60に出力する処理が実行される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
プログラムに基づいた処理を実行するプロセッサを有した集積回路の検査システムであって、 入力される制御信号に応じて、上記集積回路に供給する検査信号を生成する検査信号生成手段と、 上記制御信号に応じて、上記集積回路の出力結果を取得する出力結果取得手段と、 上記集積回路へ検査プログラムを供給してその起動を指示し、所定の検査手順に応じて、上記検査信号生成手段、出力結果取得手段、および上記集積回路を制御するための上記制御信号を生成する制御手段と、 を有し、 上記集積回路は、 1つまたは複数の回路ブロックと、 上記制御手段からの起動指示に応じて、上記制御手段より供給される上記検査プログラムを上記プロセッサに実行させるプログラム起動手段と、 を含み、 上記プロセッサは、上記制御信号に応じて、少なくとも、上記回路ブロックに上記検査信号を入力してその動作を開始させる処理、または、上記回路ブロックの出力結果を上記出力結果取得手段に出力する処理を、上記検査プログラムに基づき実行する、 検査システム。
IPC (2件):
G01R31/28 ,  G06F11/22
FI (3件):
G01R31/28 U ,  G06F11/22 310D ,  G06F11/22 330F
Fターム (14件):
2G132AA00 ,  2G132AA03 ,  2G132AC15 ,  2G132AG02 ,  2G132AK07 ,  2G132AK13 ,  2G132AK29 ,  2G132AL06 ,  2G132AL09 ,  5B048AA20 ,  5B048DD01 ,  5B048DD05 ,  5B048DD08 ,  5B048FF03
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 特開平4-115175
  • 特開昭60-011941
  • 特開昭62-076756

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