特許

J-GLOBAL ID：200903056997642067

カーボンナノチューブ電界効果トランジスタ

発明者： 武田 晴治 ,  服部 聡史 ,  石井 睦 ,  武笠 幸一 ,  澤村 誠 ,  細井 浩貴 ,  山田 良樹 ,  尾崎 弘一 ,  末岡 和久
出願人/特許権者： 国立大学法人 北海道大学
代理人 (1件)： 鷲田 公一
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006304167
公開番号（公開出願番号）：WO2006-103872
出願日： 2006年03月03日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

本発明は、カーボンナノチューブ電界効果トランジスタ、具体的にはカーボンナノチューブからなるチャネルが、カーボンナノチューブ親和性物質によって基板に固定されている電界効果トランジスタに関する。本発明の電界効果トランジスタは、前記ソース電極とドレイン電極の形成予定部位が、カーボンナノチューブ親和性物質で修飾された基板を用意するステップ;前記基板の電極形成予定部位に、カーボンナノチューブを提供するカーボンナノチューブ提供ステップ;および前記基板の電極形成予定部位に、それぞれソース電極およびドレイン電極を形成する電極形成ステップを含む方法によって製造される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたソース電極およびドレイン電極、ならびに前記ソース電極とドレイン電極とを接続するカーボンナノチューブからなるチャネルを有する電界効果トランジスタであって、 前記カーボンナノチューブを基板に固定するカーボンナノチューブ親和性物質をさらに有する電界効果トランジスタ。

IPC (2件)：

G01N 27/00 ,  G01N 27/414

FI (4件)：

G01N27/00 J ,  G01N27/30 301V ,  G01N27/30 301N ,  G01N27/30 301U

Fターム (18件)：

2G060AA06 ,  2G060AC10 ,  2G060AE17 ,  2G060AF02 ,  2G060AF03 ,  2G060AF08 ,  2G060AG10 ,  2G060AG15 ,  2G060FA05 ,  2G060FA10 ,  2G060FA14 ,  2G060HA01 ,  2G060HC10 ,  2G060HC18 ,  2G060HD03 ,  2G060HE01 ,  2G060JA06 ,  2G060KA06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• バイオセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-146480   出願人：独立行政法人科学技術振興機構, 独立行政法人産業技術総合研究所
• 米国特許出願公開第2004/0200734号明細書
  
• 電界効果トランジスタ及び単一電子トランジスタ並びにそれを用いたセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-307798   出願人：独立行政法人科学技術振興機構, 三菱化学株式会社
• パターン配列化カーボンナノ物質構成体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-276335   出願人：独立行政法人科学技術振興機構, 日本電気株式会社