特許

J-GLOBAL ID：200903057032588120

熱式質量流量計

発明者： 伊藤 好弘
出願人/特許権者： 有限会社エーディ ,  ガスミックス工業株式会社
代理人 (1件)： 黒田 博道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302589
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142021
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 高精度であると共に制作コストを低減でき、一方で、応答速度の速い熱式質量流量計を提供する。【解決手段】 流れに平行におかれた検出部の、加熱部を挾む温度測定点を、上流側と下流側との、ほぼ等距離すると共にそれら加熱部と温度測定部を高熱伝導体で連結し、これらを一体とした。更にそれら一体のものを上流側、下流側2個のヒートパイプ6a,6bに連結し更に外部の熱シンクに接続した。

請求項（抜粋）：

流体の流路途中に発熱体を配置し、流体の温度変化と流体の質量流量の関係に基づき流量を計測する熱式質量流量計において、被測定流体の流路の上流側と下流側において、流路中に直接配設される、一対の発熱兼感熱抵抗体と、これら一対の発熱兼感熱抵抗体は夫々、ヒートパイプに接続されていることを特徴とする熱式質量流量計。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-138618
  
• 特開昭59-046815
  
• 質量流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-214220   出願人：株式会社エステック