特許
J-GLOBAL ID:200903057043959473
圧電素子及び圧電装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 青木 博昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-049346
公開番号(公開出願番号):特開2006-237247
出願日: 2005年02月24日
公開日(公表日): 2006年09月07日
要約:
【課題】 圧電体層の変位を液体に伝達する場合の特性劣化を抑止することができる圧電素子及び圧電装置を提供する。【解決手段】 圧電装置1は、圧電素子2と、圧電素子2の底面に接合され、液体を収容するための液室31を有する液体流通部3とを備えている。圧電素子2は、活性領域層5と、活性領域層5の下側に配置された変位伝達層6とからなっている。活性領域層5は、圧電体層7と、圧電体層7を挟んで対向するように配置され、圧電体層7を変位させるための複数の内部個別電極8及び内部コモン電極9とを複数層にわたって有している。活性領域層5の最下側に位置する内部電極は、内部コモン電極9である。変位伝達層6は、液室31内の液体に圧電体7の変位を伝える層である。変位伝達層6の液体流通部3側の端面6aには、液室31内の液体に負電界を印加するための導電膜12が形成されている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
圧電体層と、
前記圧電体層を挟んで対向するように配置され、前記圧電体層を変位動作させるための個別電極及びコモン電極と、
前記圧電体層に対して前記個別電極または前記コモン電極を介して積層され、前記圧電体層の変位を液体に伝える変位伝達層とを備え、
前記変位伝達層における前記圧電体層とは反対側の端面には、導電性を有する膜が形成されていることを特徴とする圧電素子。
IPC (5件):
H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (5件):
H01L41/08 Q
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 B
, H01L41/22 Z
, B41J3/04 103A
Fターム (14件):
2C057AF65
, 2C057AG39
, 2C057AG44
, 2C057AG48
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057AP16
, 2C057AP23
, 2C057AP52
, 2C057AP55
, 2C057AP57
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
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