静電アクチュエータおよび静電駆動式インクジェットヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333937
公開番号（公開出願番号）：特開2002-142467
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】ヘッド駆動装置との間の接続配線数を低減できると共に、対向電極間の駆動電圧の印加制御を精密に行なうことのできる静電駆動式インクジェットヘッドを提案すること。【解決手段】インクジェットヘッド1の電極ガラス基板4には個別電極10が形成されていると共に、各個別電極10に対する駆動電圧の印加を制御するためのスイッチング素子をマトリック接続したマトリックス回路部14が形成されている。このマトリック回路部14の行および列選択ラインをヘッド駆動装置側に接続すればよいので、個別電極10の個数に比べて、ヘッド駆動装置側に引き出される配線数を大幅に低減できる。また、スイッチング素子は低インピーダンス駆動可能なトランスミッションゲートからなる双方向アナログスイッチから構成されているので、個別電極に対する駆動電圧の印加制御(対向電極間の充放電制御)を精度良く行なうことができる。

請求項（抜粋）：

共通電極が形成された第1の基板と、この共通電極に対して一定の隙間で対峙している個別電極が形成された第2の基板と、前記個別電極に対する駆動電圧の供給を制御するスイッチング素子とを有する静電アクチュエータにおいて、前記スイッチング素子は、前記第2の基板に形成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H02N 1/00 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

H02N 1/00 , B41J 3/04 103 A

Fターム (9件)：

2C057AF36 , 2C057AG54 , 2C057AG83 , 2C057AG91 , 2C057AM21 , 2C057AM22 , 2C057AR05 , 2C057BA03 , 2C057BA15

引用特許：

審査官引用 (7件)

静電型アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-104235 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭63-007943
特開平3-085917

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