光偏向器及びその製造方法、それを用いた光学機器そしてねじれ揺動体

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-192210
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131161
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】従来の光偏向器は慣性モーメントを低減しようとすると、剛性が不足し、十分な動的歪の抑制ができない。【解決手段】支持基板2に可動板6の両端が弾性支持部3で支持され、可動板6の一方の面に反射面4が形成され、可動板6を弾性支持部3のねじり軸を中心にねじり振動させることによって反射面4に入射する入射光を偏向する光偏向器において、可動板6の反射面4とは反対側の面であって弾性支持部3のねじり軸を挟む両側の少なくとも一方の面に凹部5B、5Cを形成する。また、可動板6の側面に凹部5Aを形成する。

請求項（抜粋）：

支持基板に可動板の両端が弾性支持部で支持され、前記可動板の一方の面には反射面が形成され、前記可動板を弾性支持部のねじり軸を中心にねじり振動させることによって、前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、前記可動板の反射面が形成されない面で、前記弾性支持部のねじり軸を挟む両側の少なくとも一方側の面に凹部を形成したことを特徴とする光偏向器。

IPC (5件)：

G02B 26/10 104 , B41J 2/44 , B81B 3/00 , B81C 1/00 , G02B 26/08

FI (5件)：

G02B 26/10 104 Z , B81B 3/00 , B81C 1/00 , G02B 26/08 E , B41J 3/00 D

Fターム (11件)：

2C362BA17 , 2C362BA33 , 2C362BA83 , 2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB16 , 2H045AB73

引用特許：

審査官引用 (8件)

静電力駆動光走査装置とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-218329 出願人：松下電器産業株式会社
光偏向器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-206591 出願人：日本ビクター株式会社
光スキャナー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-239665 出願人：キヤノン株式会社

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