特許
J-GLOBAL ID：200903040372942344
光スキャナ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西村 教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-060742
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249300
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 ミラー部の軽量化を図るとともに、反りが生じにくいミラー構造とし、これにより、共振周波数を劣化させることなく、ミラー部の振幅を大きくとって、光スキャナの動作の高速化を図る。【解決手段】 光スキャナ1は、入射光を反射させるミラー部4を回転軸回りに回転させて反射光を走査するものであり、フレーム2,梁3及びミラー部4がいったい成形されている。このミラー部の4裏面には、複数の凹部が形成されている。凹部は帯状,マトリクス状,ハニカム状など様々な形状でエッチング処理されている。
請求項（抜粋）：
入射光を反射させるミラー部(4,14,24)を回転軸回りに回転させて反射光を走査する光スキャナ(1,11,21)において、前記ミラー部の裏面に複数の凹部(5,15,25)が形成されていることを特徴とする光スキャナ。
Fターム (2件)：
引用特許：
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