特許

J-GLOBAL ID：200903057125323682

高分解能複合型顕微鏡

発明者： 木塚 徳志 ,  藤澤 悟 ,  成瀬 幹夫 ,  出口 俊二
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  科学技術振興事業団 ,  日本電子株式会社
代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-078035
公開番号（公開出願番号）：特開2002-279925
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】 同一領域に注目して、表面および内部構造、機械的性質、電気的性質を対応させながら観察、測定できる、従来の複数の顕微鏡の機能を併せ持つ複合型顕微鏡を実現する。【解決手段】 透過型電子顕微鏡とと走査プローブ顕微鏡の機能を併せ持つ高分解複合型顕微鏡であって、透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室内にカンチレバー型原子間力顕微鏡兼走査トンネル顕微鏡探針7を、該探針7の先端と試料5の先端部との近接又は接触状態での透過像を観察可能とする位置に配設する。試料5を3軸移動する試料移動機構6と、カンチレバー型原子間力顕微鏡兼走査トンネル顕微鏡探針7を3軸移動する探針移動機構とを備え、探針移動機構は、探針駆動用ゴニオメータ8とピエゾ極微動機構9からなる。

請求項（抜粋）：

透過型電子顕微鏡と走査プローブ顕微鏡の機能を併せ持つ高分解複合型顕微鏡であって、透過型電子顕微鏡の鏡筒の試料室内に走査プローブ顕微鏡探針を、該探針先端と試料との近接又は接触状態での透過型顕微鏡像を観察可能とする位置に配設したことを特徴とする高分解能複合型顕微鏡。

IPC (6件)：

H01J 37/26 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/16 ,  G12B 21/08 ,  H01J 37/28

FI (6件)：

H01J 37/26 ,  G01N 13/10 F ,  G01N 13/12 A ,  G01N 13/16 A ,  H01J 37/28 X ,  G12B 1/00 601 D

Fターム (3件)：

5C033SS02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-316602
  
• 表面顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-241098   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平1-316602