特許

J-GLOBAL ID：200903057153896809

調整方法、露光装置

発明者： 柴崎 祐一 ,  荒井 大
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-019452
公開番号（公開出願番号）：特開2006-210570
出願日： 2005年01月27日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】物体の位置を作業性良く円滑に調整することができる調整方法を提供する。【解決手段】 基準板50を移動可能な計測ステージST2の吸着部に搬送し、計測ステージST2を駆動して生ずる慣性力によって、基準板50を吸着部上で滑らせて基準板50の位置を調整する。このとき露光装置のアライメント系を使って、基準板50に設けられた基準マークを検出し、その検出結果にもとずいて計測ステージST2の駆動を制御して滑り量を調整する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

物体の位置を調整する調整方法において、 前記物体を移動可能なステージの保持部に搬送し、 前記ステージを駆動して前記物体を前記保持部上で滑らせて前記物体の位置を調整することを特徴とする調整方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L21/30 520Z ,  G03F9/00 H ,  H01L21/68 F ,  H01L21/30 515D

Fターム (16件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031KA06 ,  5F031MA27 ,  5F046BA03 ,  5F046CB01 ,  5F046CC01 ,  5F046DA07 ,  5F046EA02 ,  5F046EB03 ,  5F046FA17 ,  5F046FC10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 国際公開第99/49504号パンフレット
  
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-299775   出願人：株式会社ニコン