特許

J-GLOBAL ID：200903057163965744

音波発生装置とその製造方法

発明者： 越田 信義 ,  椿 健治
出願人/特許権者： 農工大ティー・エル・オー株式会社
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-303976
公開番号（公開出願番号）：特開2005-073197
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】 空気に熱を与えることにより空気の粗密を作り、音波を発生する装置であって、超音波音源、スピーカー音源、アクチュエータなどに有用な新しい音波発生装置とその製造方法を提供する。【解決手段】 熱導電性の基板(2)と、その基板(2)上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコンからなる断熱層(3)と、断熱層(3)上に形成され、電気的に駆動される金属膜からなる発熱体薄膜(4)とを有する音波発生装置(1)であって、断熱層(3)のナノ結晶シリコンには多数の孔が形成されており、その多孔度が75%以上である音波発生装置(1)とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

熱導電性の基板と、その基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコンからなる断熱層と、断熱層上に形成され、電気的に駆動される金属膜からなる発熱体薄膜とを有する音波発生装置であって、断熱層のナノ結晶シリコンには多数の孔が形成されており、その多孔度が75%以上であることを特徴とする音波発生装置。

IPC (1件)：

H04R23/00

FI (1件)：

H04R23/00 310

Fターム (6件)：

5D021DD01 ,  5D107AA02 ,  5D107BB20 ,  5D107CC20 ,  5D107DD20 ,  5D107FF03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 圧力波発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-113369   出願人：科学技術振興事業団
• スピーカ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-381409   出願人：パイオニア株式会社

審査官引用 (2件)

• 圧力波発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-113369   出願人：科学技術振興事業団
• スピーカ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-381409   出願人：パイオニア株式会社