特許

J-GLOBAL ID：200903057170324819

FPDの保護膜用蒸着材及びその製造方法

発明者： 桜井 英章 ,  黒光 祥郎
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163910
公開番号（公開出願番号）：特開2002-294432
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】真空成膜用容器の内部に設置した直後の脱ガス排気処理時間を短縮し、特性が安定した均一な成膜が可能な蒸着材を得る。【解決手段】FPDの保護膜用蒸着材は、表面がフッ化物層12で覆われた多結晶体11,焼結体又は単結晶体により形成される。多結晶体11,焼結体又は単結晶体が、MgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物若しくは希土類酸化物,又はアルカリ土類酸化物及び希土類酸化物の複合酸化物のいずれかにより形成され、フッ化物層12がガス状フッ素化剤とMgO,CaO,SrO,BaO,アルカリ土類複合酸化物若しくは希土類酸化物,又はアルカリ土類酸化物及び希土類酸化物の複合酸化物のいずれかとの反応によって得られる。

請求項（抜粋）：

表面がフッ化物層(12)で覆われた多結晶体(11),焼結体又は単結晶体により形成されたFPDの保護膜用蒸着材。

IPC (7件)：

C23C 14/24 ,  C04B 35/495 ,  C04B 41/80 ,  C04B 41/87 ,  C23C 14/08 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (7件)：

C23C 14/24 E ,  C04B 41/80 B ,  C04B 41/87 D ,  C23C 14/08 J ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  C04B 35/00 J

Fターム (27件)：

4G030AA05 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA11 ,  4G030AA58 ,  4G030BA01 ,  4G030GA32 ,  4G030GA35 ,  4K029BA43 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029DB21 ,  4K029GA00 ,  5C027AA07 ,  5C040FA01 ,  5C040FA09 ,  5C040GE07 ,  5C040GE08 ,  5C040JA07 ,  5C040KA04 ,  5C040KB01 ,  5C040KB08 ,  5C040KB19 ,  5C040MA23 ,  5C040MA26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• FPD用保護膜の製造方法及びそのFPD用保護膜並びにこれを用いたFPD
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-139766   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 希土類フッ化物被膜を有する希土類酸化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-243341   出願人：八尾健
• 特開平4-160148
  
• FPD用保護膜及びその製造方法並びにこれを用いたFPD
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-182814   出願人：三菱マテリアル株式会社