特許
J-GLOBAL ID:200903057175610356

ボンディング装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 羽切 正治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-246984
公開番号(公開出願番号):特開2002-064121
出願日: 2000年08月16日
公開日(公表日): 2002年02月28日
要約:
【要約】【課題】 高倍率のレンズを使用したボンディング装置での被ボンディング部品の定点のずれ量の検出で、被ボンディング部品の定点がカメラの撮像範囲外であっても、高精度で、短時間でずれ量の検出を行うこと。【解決手段】 前記被ボンディング部品に対する視野の中心を共有してなり、撮像範囲の異なる撮像信号を出力する撮像手段を具備して、前記撮像手段の撮像範囲の狭い撮像信号と該撮像信号のテンプレートとの前記パターンマッチングを行い、前記パターンマッチングがエラーとなったとき、前記撮像手段の前記出力手段からの撮像範囲の広い撮像信号と該撮像信号のテンプレートとの前記パターンマッチングを行う。
請求項(抜粋):
被ボンディング部品に対してボンディングを行うボンディング手段と、前記ボンディング手段を前記被ボンディング部品に対して二次元的に相対移動させて位置決めを行う位置決め手段と、前記位置決め手段に搭載された前記被ボンディング部品を撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの画像信号を受けて前記被ボンディング部品の定点の位置の検出を行う画像認識手段とからなるボンディング装置であって、前記撮像手段は、前記被ボンディング部品に対する視野の中心を共有してなり、撮像範囲の異なる撮像信号を出力する出力手段を具備し、前記画像認識手段は、前記撮像手段の前記出力手段からの撮像範囲の異なる撮像信号を指定範囲より基準パターンとして切り出す画像切り出し手段を備え、前記画像切り出し手段で切り出された基準パターンをテンプレートとして、撮像範囲の異なる撮像信号と該撮像信号の該テンプレートとのパターンマッチングを行い、前記被ボンディング部品の定点のずれ量を検出してなることを特徴とするボンディング装置。
Fターム (3件):
5F044DD01 ,  5F044DD02 ,  5F044DD13
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • ボンディング装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2000-246983   出願人:株式会社カイジョー

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