特許
J-GLOBAL ID:200903057206822691

種結晶保持具

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-116697
公開番号(公開出願番号):特開2002-316891
出願日: 2001年04月16日
公開日(公表日): 2002年10月31日
要約:
【要約】【課題】 下部が部分的に太った種結晶についても、簡単に着脱を行うことができるスリーブタイプの種結晶保持具を提供する。【解決手段】 種結晶の上部を内側に保持し、周方向で複数部材に分割された分解式の内側筒体21と、内側筒体21を内側に合体状態で保持固定する一体式の外側筒体22とを組み合わせる。種結晶の下部に形成される大径部が外側筒体22の内側を通るように、外側筒体22の最小内径を、種結晶の下部に形成される大径部の外径より大とする。
請求項(抜粋):
CZ法による単結晶引上げに使用される種結晶の上部を内側に保持し、周方向で複数部材に分割された分解式の内側筒体と、内側筒体を内側に合体状態で保持固定する一体式の外側筒体とを具備することを特徴とする種結晶保持具。
Fターム (5件):
4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG11 ,  4G077PH01
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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