特許
J-GLOBAL ID：200903057275201003
表示用ガラス基板とその製造方法およびプラズマディスプレイパネル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 俊哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-371874
公開番号（公開出願番号）：特開2005-135802
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】酸化錫透明導電膜にレーザを照射して透明導電膜を完全に蒸発消失させて電極加工をしたものは、電極間絶縁部に露出した部分が耐アルカリ薬品性が十分でなく、アルカリ洗浄をしたとき電極端部が浮き上がったり、剥離するという問題があった。【解決手段】 ガラス板上に被覆された酸化錫透明導電膜の一部を透明電極とし、透明電極以外の部分を電極間絶縁部とするにあたり、電極間絶縁部の加工を、レーザの照射による酸化錫透明導電膜の表面層の蒸発による除去と表面層より内部の層の酸化による電気絶縁により行う。照射するレーザショットのエネルギー密度を8〜14J/cm2とし、内部層の加熱酸化により得られる絶縁膜の厚みを5〜15nmとするのが好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ガラス板と該ガラス板の一方の面に被覆された酸化錫透明導電膜が所定形状に加工された複数の透明電極を有する表示用ガラス基板であって、前記複数の透明電極が、前記酸化錫透明導電膜を加熱酸化して得られる絶縁膜により電気的に絶縁されていることを特徴とする表示用ガラス基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
5C027AA01
, 5C027AA03
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GC06
, 5C040GC19
, 5C040JA14
