特許
J-GLOBAL ID：200903057280910349
斜め投影光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
佐野 静夫
, 山田 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-047846
公開番号（公開出願番号）：特開2004-258218
出願日： 2003年02月25日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】良好な光学性能を保持しつつ量産性やコスト面で有利であり、しかも薄型で光学部品もコンパクトな高画角の斜め投影光学系を提供する。【解決手段】縮小側の1次像面(SO)から拡大側の2次像面への斜め方向の拡大投影を行う斜め投影光学系であって、1次像面(SO)側から順に、複数の屈折光学面を有する屈折レンズ群(GL)と、負パワーの反射光学面を有するミラー群とを備える。屈折レンズ群(GL)は、回転対称なレンズ面を有する回転対称レンズと、面対称の対称面を多くとも1面しか持たない回転非対称な自由曲面から成るレンズ面を有する自由曲面レンズ(Lf)と、で構成されている。回転対称レンズは共軸系を成し、その光軸(AX)を中心に、回転対称レンズと自由曲面レンズ(Lf)の各々少なくとも1枚が独立して回転可能になっている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
縮小側の1次像面から拡大側の2次像面への斜め方向の拡大投影を行う斜め投影光学系であって、1次像面側から順に、複数の屈折光学面を有する屈折レンズ群と、負パワーの反射光学面を有するミラー群とを備え、
前記屈折レンズ群が、回転対称なレンズ面を有する回転対称レンズと、面対称の対称面を多くとも1面しか持たない回転非対称な自由曲面から成るレンズ面を有する自由曲面レンズと、で構成されており、前記回転対称レンズが共軸系を成し、その光軸を中心に、前記回転対称レンズと前記自由曲面レンズの各々少なくとも1枚が独立して回転可能であることを特徴とする斜め投影光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2H087KA06
, 2H087KA07
, 2H087NA11
, 2H087RA05
, 2H087RA06
, 2H087RA12
, 2H087TA01
, 2H087TA03
, 2H087TA04
, 2H087TA06
