特許

J-GLOBAL ID：200903057287782664

可動部材支持装置

発明者： 中村 剛
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (2件)： 田村 敬二郎 ,  小林 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-035010
公開番号（公開出願番号）：特開2005-226709
出願日： 2004年02月12日
公開日（公表日）： 2005年08月25日
要約：

【課題】 可動部材の撓みを補正可能な可動部材支持装置を提供する。 【解決手段】 エンコーダ18からの信号を入力することで、可動部材15が右方へ移動したと判断したレギュレータ16は、下方静圧パッド11aよりも下方静圧パッド11cの方が強い吹き出し圧力となるよう制御する。それにより、下方静圧パッド11cに対向する可動部材15の部分が上方へと移動し、右端の下がりを抑えることができる。可動部材15が図1で左方へ移動した場合にも、同様な制御を行うことができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ハウジングと、 前記ハウジングに対して可動部材を移動自在に支持する軸受と、 前記可動部材の重力方向における撓みに応じて、前記ハウジングと前記可動部材との間の力を制御することを特徴とする可動部材支持装置。

IPC (6件)：

F16C32/06 ,  B23Q1/38 ,  F16C29/02 ,  F16C33/74 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

F16C32/06 A ,  B23Q1/38 B ,  F16C29/02 ,  F16C33/74 Z ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503Z

Fターム (28件)：

2H097LA10 ,  3C048CC07 ,  3J016AA08 ,  3J016BB22 ,  3J102AA02 ,  3J102BA07 ,  3J102BA09 ,  3J102CA10 ,  3J102CA32 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA09 ,  3J102EA24 ,  3J102GA18 ,  3J104AA52 ,  3J104AA67 ,  3J104AA69 ,  3J104AA74 ,  3J104AA75 ,  3J104AA76 ,  3J104BA72 ,  3J104DA06 ,  3J104DA11 ,  3J104EA10 ,  5F046AA22 ,  5F046AA28 ,  5F046DA27 ,  5F046DA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平4-57894号公報
  

審査官引用 (5件)

• 静圧気体軸受装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-142954   出願人：エヌティエヌ株式会社
• 静圧気体軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-183498   出願人：東陶機器株式会社
• 駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-372159   出願人：日本精工株式会社
• 駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-293266   出願人：株式会社東芝, 株式会社荏原製作所, 日本精工株式会社
• 特開昭58-203220