特許
J-GLOBAL ID：200903057305819260

基板処理装置

発明者：
前川 直嗣

前川 直嗣 について

, 
大橋 泰彦

大橋 泰彦 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248186
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060003
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：
【要約】【課題】 別体の装置をつなげて基板処理を連続的に行う点において汎用性があって、かつ基板の投入時と払出時とにおいて基板を効率良く処理することができる基板処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 投入時に未処理の基板Wを収納したキャリアCを搬送し、キャリアCから基板Wを取り出し、払出時には処理済の基板WをキャリアCに収納し、基板Wを収納したキャリアCを搬送する搬送機構を、投入時に用いられる投入用搬送機構7と、払出時に用いられる払出用搬送機構8とに分けている。従って、投入時と払出時との作業を同時に行うことができて、基板Wを効率良く処理することができる。
請求項（抜粋）：
複数個の処理部と未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入する投入部と処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを払い出す払出部とを備え、各々の前記処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置であって、未処理または処理済の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構と、未処理の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送し、前記キャリアから前記基板を取り出す投入用搬送機構と、処理済の基板を前記キャリアに収納し、複数枚の前記基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する払出用搬送機構と、未処理または処理済の基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記キャリア搬送機構は、投入時には未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを前記投入部から前記投入用搬送機構に受け渡し、払出時には処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを前記払出用搬送機構から前記払出部に受け渡し、前記投入用搬送機構は、前記キャリア搬送機構から受け取ったキャリアから未処理の基板を取り出し、その基板を前記基板搬送機構に受け渡し、前記払出用搬送機構は、前記基板搬送機構から受け取った処理済の基板をキャリアに収納し、そのキャリアを前記キャリア搬送機構に受け渡し、前記基板搬送機構は、投入時には未処理の基板を前記投入用搬送機構から最初に基板処理を行う処理部に受け渡し、基板を処理部間同士で受け渡し、払出時には最後に基板処理を行った処理部から処理済の基板を前記払出用搬送機構に受け渡し、かつ、前記基板搬送機構の搬送方向に対して同じ側に前記投入部と払出部とが配備されているとともに、前記投入用搬送機構と払出用搬送機構とは、処理部と投入部/払出部との間に配備されていることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/306
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B08B 3/04 Z ,  H01L 21/306 K
Fターム (23件)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB23 ,  3B201BB02 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3B201CC11 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031MA23 ,  5F031PA02 ,  5F031PA30 ,  5F043BB27 ,  5F043EE35 ,  5F043EE36
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM