特許
J-GLOBAL ID：200903045403556245
キャリア載置装置および基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346299
公開番号（公開出願番号）：特開平10-189683
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 奥側の載置台上にキャリアを正しく載置する。【解決手段】 半導体ウエハ2の並び方向を保持した状態で、カセット搬入側では、第1のテーブル22の前位置から後位置にキャリア3を搬送機構41で搬送するため、オペレータは、カセット搬入側で、第1のテーブル22の前位置だけにキャリア3を載置すればよく、従来のように第1のテーブル22の奥側に重いキャリア3を載置する必要はなく、作業が容易である上、位置決めガイド40に合わせて正確にキャリア3を載置できる。また、第1のテーブル22に対して手前側にキャリア検知部の読取り器15を設ければ、キャリア3は常に第1のテーブル22の前位置に載置された後にその奥側に搬送されるため、1個の読取り器15だけで正しく読取れる。
請求項（抜粋）：
複数の基板を所定の並び方向で並べて収容したキャリアを前後に載置可能なキャリア載置装置であって、前記キャリアが搬入または搬出される前位置および、この前位置に対する後位置で前記キャリアを載置可能な載置台と、前記基板の並び方向を保持した状態で、前記載置台の前位置と後位置間で前記キャリアを搬送する搬送機構とを有することを特徴とするキャリア載置装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 L
, H01L 21/304 341 C
