特許
J-GLOBAL ID：200903057308854814
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190751
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010268
出願日： 2004年06月29日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】 被加熱物の熱処理に伴って発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の漏出を抑制可能な熱処理装置の提供を目的とする。 【解決手段】 熱処理装置は、熱処理室12に基板を出し入れするための換装部6を有する。換装部6と熱処理室12との境界部分を構成する遮蔽板44の挿通孔44cの上下には、清浄な空気を噴出可能なエアノズル65,66が配されている。エアノズル65,66から空気が噴出されると、換装部6と熱処理室12との境界部分にエアカーテンCが形成される。そのため、熱処理室12内において発生した生成ガスや昇華物は、換装部6を開閉しても熱処理装置1の外部に漏出しない。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室に被加熱物を出し入れするための換装部とを有し、
換装部を介する被加熱物の出し入れに伴って被加熱物によって分割される二領域の双方側から当該二領域の境界部分に向けて気体を噴出することにより気体流を形成し、当該気体流により、気体流よりも熱処理室の内側の領域と当該領域よりも外側の領域とを分離可能な気体噴出手段が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件)：
F27B 17/00
, F27D 7/06
, G09F 9/00
F27B17/00 B
, F27D7/06 B
, G09F9/00 338
4K063AA05
, 4K063BA12
, 4K063CA02
, 4K063CA08
, 4K063DA23
, 5G435AA17
, 5G435KK05
, 5G435KK10
