特許
J-GLOBAL ID：200903057367538560
センサーユニットおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
米田 潤三
, 皿田 秀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-232055
公開番号（公開出願番号）：特開2008-060135
出願日： 2006年08月29日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
【課題】小型で信頼性の高いセンサーユニットと、その簡便な製造方法を提供する。【解決手段】センサーユニット1は、センサー2と、能動素子内蔵モジュール5とを備えたものであり、センサー2はSOI基板11からなり、枠部材21と、この枠部材を貫通する複数の貫通電極27と、枠部材21から内側方向に突出する複数の梁22と、梁により支持される錘23と、梁に配設されたピエゾ抵抗素子16と、このピエゾ抵抗素子に接続された配線18とを有し、錘23との間に所定の間隙を形成するように能動素子内蔵モジュール5がセンサー2の枠部材21に接合され、能動素子内蔵モジュール5は、能動素子45を内蔵して能動素子よりも外側の領域に複数の貫通電極33を有する基板31と、貫通電極と接続するように基板に配設された配線34とを有し、この配線34はセンサー2の貫通電極27に接合されたものとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ピエゾ抵抗素子を用いたセンサーと、該センサーに接合された能動素子内蔵モジュールとを備え、
前記センサーは、シリコン層/酸化シリコン層/シリコン層の3層構造を有するSOI基板からなり、枠部材と、該枠部材を貫通する複数の貫通電極と、前記枠部材から内側方向に突出する複数の梁と、該梁により支持される錘と、前記梁に配設されたピエゾ抵抗素子と、該ピエゾ抵抗素子と前記貫通電極とを接続する配線と、を有し、前記錘との間に所定の間隙を形成するように前記能動素子内蔵モジュールが前記枠部材に接合され、
前記能動素子内蔵モジュールは、能動素子を内蔵し該能動素子よりも外側の領域に複数の貫通電極を有する基板と、該貫通電極と接続するように前記基板に配設された配線と、を有し、該配線は前記センサーの貫通電極と接合されていることを特徴とするセンサーユニット。
IPC (5件)：
H01L 25/00
, G01P 15/12
, H01L 29/84
, G01P 15/18
, G01P 15/08
H01L25/00 B
, G01P15/12 D
, H01L29/84 A
, G01P15/00 K
, G01P15/08 P
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA27
, 4M112CA32
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA06
, 4M112DA10
, 4M112DA16
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112EA07
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA20
