特許

J-GLOBAL ID：200903057368231751

平面度測定方法および装置

発明者： 多田 幸央 ,  水谷 智導 ,  山田 哲也 ,  岩間 勝浩
出願人/特許権者： 鈴鹿富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： ▲高▼橋 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355789
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174240
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 簡単な演算により外来光の影響を受けないで精確な平面度を得ること。【解決手段】 測定対象物1の測定面11に対してレーザビームを照射するレーザビーム投光器2と、前記測定対象物1の前記測定面11によって反射されたレーザビームの結像位置の前後の異なった位置におけるビーム径を測定するビーム径測定機3と、ビーム径の差から焦点位置のズレを演算することにより、前記測定対象物1の前記測定面11の平面度を演算する平面度演算装置4とから成る平面度測定方法および装置。

請求項（抜粋）：

測定対象物の測定面に対してレーザビームを照射し、前記測定対象物の前記測定面によって反射されたレーザビームの結像位置の前後の少なくとも2点におけるビーム径を測定し、ビーム径の差から焦点位置のズレを演算することにより、前記測定対象物の前記測定面の平面度を演算することを特徴とする平面度測定方法。

Fターム (17件)：

2F065AA47 ,  2F065CC21 ,  2F065DD12 ,  2F065FF01 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ41

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光走査用レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-097087   出願人：株式会社リコー
• 焦点検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-123642   出願人：オリンパス光学工業株式会社