特許
J-GLOBAL ID：200903057368931915
ダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
北村 欣一 (外2名)
, 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349125
公開番号（公開出願番号）：特開2001-164356
出願日： 1999年12月08日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
要約：
【要約】【課題】硬いダイヤモンドライクカーボン膜を形成する方法と、その実施に適した装置を提供すること。【解決手段】真空排気された成膜室1内の蒸発源3から蒸発させたグラファイト粒子を、該蒸発源の上方の加熱されたモリブデン、タングステン、タンタル、レニウム等の耐熱金属製の反射板5により反射させて加熱された試料ホルダー7面上に堆積させ、その堆積中にイオンビームCを該試料ホルダー面上の堆積物に照射する。蒸発源は電子ビームにより加熱されるものとし、イオンビームにはアルゴン、ヘリウム、ネオンなどの希ガスのイオンのイオンビームを使用することが好ましい。成膜室内には上記イオンビーム生成用のガス以外を導入しない。
請求項（抜粋）：
真空排気された成膜室内の蒸発源から蒸発させたグラファイト粒子を、該蒸発源の上方の加熱された耐熱金属製の反射板により反射させて加熱された試料ホルダー面上に堆積させ、その堆積中にイオンビームを該試料ホルダー面上の堆積物に照射することを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。
IPC (3件)：
C23C 14/06
, C23C 14/22
, G11B 5/84
C23C 14/06 F
, C23C 14/22 A
, G11B 5/84 B
4K029BA34
, 4K029BC00
, 4K029BD11
, 4K029CA09
, 4K029CA15
, 4K029DA08
, 5D112AA07
, 5D112BC05
, 5D112FA02
, 5D112FB13
, 5D112FB21
, 5D112FB27
