特許

J-GLOBAL ID：200903057446338703

めっき装置

発明者： 藤嶋 進 ,  管野 龍一 ,  園部 章 ,  椎名 宏美 ,  江口 武也 ,  土屋 正利
出願人/特許権者： 日立協和エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086163
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273000
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】移動体を用いて、高精密微細パターンのめっきを可能とするめっき装置を提供する。【解決手段】めっき装置は、 めっき液で満たされためっき槽13内に、 電極4に接続されて陰極となる被めっき物10と、 電極11と、 被めっき物10と電極11の間にあって被めっき物側に隣接配設されて被めっき物10のめっき面に沿って往復動する移動体9と、被めっき物10と電極11の間にあって電極側に隣接配設された遮蔽板12とを備え、移動体9は、移動方向の垂直方向に所定厚みを有し、めっき面直近におけるめっき液の流れを乱流化するよう、めっき面から所定間隔を離れたところを所定速度で移動し、遮蔽板12は、当該遮蔽板の外周を絶縁パッキン24にてめっき液シールされて、めっき槽13に取り付けられている。

請求項（抜粋）：

めっき液中に被めっき物と移動体とを近接配し、前記移動体が前記被めっき物のめっき面に沿って往復動し、前記めっき面に対する前記めっき液の更新を行うめっき装置であって、前記移動体は、移動方向の垂直方向に所定厚みを有し、前記めっき面直近における前記めっき液の流れを乱流化するよう、前記めっき面から所定間隔を離れたところを所定速度で移動することを特徴とするめっき装置。

IPC (3件)：

C25D 21/10 301 ,  C25D 5/00 ,  C25D 7/00

FI (3件)：

C25D 21/10 301 ,  C25D 5/00 ,  C25D 7/00 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電気メッキ装置の攪拌方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-119541   出願人：株式会社荏原製作所