特許
J-GLOBAL ID:200903057453415268

基板収納容器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤井 紘一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-184605
公開番号(公開出願番号):特開2002-009142
出願日: 2000年06月20日
公開日(公表日): 2002年01月11日
要約:
【要約】【課題】 容器本体に基板を収納し開口部を蓋体で閉鎖し搬送されるときに基板と支持部との間に摩耗を生じることがなく、基板を汚染させることのない基板収納容器を提供すること。【解決手段】 開口部を有し、相対向する内壁に1又は複数枚の基板を水平に支持する基板支持部が設けられた容器本体と、前記開口部をシール可能に閉鎖し、その内面に基板の端面に当接するリテーナ50が取り付けられた蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体で容器本体の開口部を閉鎖したときに、前記リテーナ50の基板端面と当接するそれぞれの当接溝の高さ方向の中心位置Obが、容器本体の基板支持部27上に位置するそれぞれの基板の高さ方向の中心位置Oaより上方に位置するように構成し、基板Wを収納した際に基板の一部を基板支持部27から浮かせて保持するようにした。
請求項(抜粋):
開口部を有し、相対向する内壁に1又は複数枚の基板を水平に支持する基板支持部が設けられた容器本体と、前記開口部をシール可能に閉鎖し、その内面に基板の端面に当接するリテーナが取り付けられた蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体で容器本体の開口部を閉鎖したときに、前記リテーナの基板端面と当接するそれぞれの当接溝の高さ方向の中心位置が、容器本体の基板支持部上に位置するそれぞれの基板の高さ方向の中心位置より上方に位置するように構成し、基板を収納した際に基板の一部を基板支持部から浮かせて保持するようにしたことを特徴とする基板収納容器。
Fターム (9件):
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA10 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031PA26
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 密封容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-328926   出願人:信越ポリマー株式会社
審査官引用 (1件)
  • 密封容器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-328926   出願人:信越ポリマー株式会社

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