特許

J-GLOBAL ID：200903057506215614

搬送装置

発明者： 南條 光範
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-047625
公開番号（公開出願番号）：特開2003-245885
出願日： 2002年02月25日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：

【要約】【課題】 圧力変化によりワーク着脱判断を行う非接触型搬送装置のコントローラ側のプログラム設定を簡易化するとともにワーク検出精度の向上を図る。【解決手段】 搬送ヘッド1の先端に、ワークWを保持するワーク保持面3と、搬送ヘッド中央部のワーク保持面3より後退した位置に設けられた気体吐出部5と、気体吐出部5とワーク保持面3とを結ぶ気体案内面6とを形成し、気体吐出部5から気体案内面6に沿って空気を供給して搬送ヘッド前面に負圧を発生させてワークWを保持する。気体吐出部5は、気体案内面6に向かって開口するスリット11を有するノズル7と、ノズル7の中央に搬送ヘッド前面側に向けて開口し圧力センサ21と接続された圧力検出ポート19を有する。圧力検出ポート19はワーク非保持状態では大気圧、保持状態では負圧となり、それらを検出することによりワークWの有無を検知する。

請求項（抜粋）：

移動部材に装着される搬送ヘッドの先端に、ワークを保持する環状の保持面と、前記搬送ヘッド中央部の前記保持面よりも後退した位置に設けられた気体吐出部と、この気体吐出部と前記保持面とを結ぶ気体案内面とを形成し、前記気体吐出部から前記気体案内面に沿って空気を供給することにより前記搬送ヘッド前面に負圧を発生させて前記ワークを保持する搬送装置であって、前記気体吐出部に前記搬送ヘッド前面側に向けて開口形成され、圧力検出手段に連通されて前記搬送ヘッド前面の気圧を検出し、前記ワークを保持しない状態では大気圧となる圧力検出ポートを有することを特徴とする搬送装置。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 15/06 B ,  B25J 15/06 Z ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 H ,  H01L 21/68 C

Fターム (18件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS04 ,  3C007FU04 ,  3C007KS30 ,  3C007KX08 ,  3C007NS13 ,  5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA28 ,  5F031GA36 ,  5F031JA10 ,  5F031JA22 ,  5F031JA47

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-348145   出願人：株式会社コガネイ
• 真空吸引装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-194883   出願人：有限会社池上設計事務所
• 特開昭61-254436
  
• 特開昭61-254436