特許

J-GLOBAL ID：200903057533509611

ビームの評価

発明者： アシャー パール ,  スティーヴン アール ロジャーズ ,  アレクサンダー リビンソン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309916
公開番号（公開出願番号）：特開2001-202911
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、荷電粒子ビームを評価する方法および荷電粒子ビームを制御する方法に関する。本発明は更に、荷電粒子のビームを用いて検体を検査する装置に関する。【解決手段】 本発明は、第1の形態により、自動的に荷電粒子装置の性能を評価する方法を提供する。この方法は、ゴールド・オン・カーボン基準標的から入る信号を利用する。この信号から粒子ビームのスポットサイズが求められる。本発明による方法は、それがオペレータの判断に左右されないという利点を持つ。従ってこの方法は、ビーム特性評価の改善された一貫性、正確性、及び、信頼性をもたらし、且つ、それによりシステム性能の特質に対する優れた特性評価法をもたらす。

請求項（抜粋）：

検体検査のための荷電粒子ビームを使用する荷電粒子装置の性能を自動的に評価する方法であって、a)基準解像度標的を準備する段階と、b)前記粒子ビームを前記基準解像度標的上で走査する段階と、c)信号を生成するために前記基準解像度標的から来る少なくとも1つの副産物、及び/又は、後方散乱粒子を測定する段階と、d)前記荷電粒子装置の性能を評価するために前記粒子ビームのスポットサイズを前記信号から求める段階とを含むことを特徴とする方法。

IPC (5件)：

H01J 37/04 ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (6件)：

H01J 37/04 A ,  G01N 23/20 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/20 G ,  H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子顕微鏡の分解能評価方法および分解能評価用試料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-316811   出願人：株式会社日立製作所
• 走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-226571   出願人：日本電子株式会社