超純水供給装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392090
公開番号（公開出願番号）：特開2003-190951
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月08日
要約：

【要約】【課題】半導体、液晶などの電子部品製造工場、医薬用水、原子力発電所などで広く使用されている超純水中の長鎖アミンを効率的に除去し、純度の極めて高い超純水を供給することができる超純水供給装置を提供する。【解決手段】長鎖アミン除去手段を備えてなることを特徴とする超純水供給装置。

請求項（抜粋）：

長鎖アミン除去手段を備えてなることを特徴とする超純水供給装置。

IPC (7件)：

C02F 1/44 ZAB , B01D 61/08 , B01D 61/58 , C02F 1/28 , C02F 1/30 , C02F 1/42 , C02F 1/72 101

FI (7件)：

C02F 1/44 ZAB J , B01D 61/08 , B01D 61/58 , C02F 1/28 F , C02F 1/30 , C02F 1/42 A , C02F 1/72 101

Fターム (38件)：

4D006GA03 , 4D006GA06 , 4D006GA07 , 4D006GA32 , 4D006KA52 , 4D006KA55 , 4D006KA72 , 4D006KB04 , 4D006KB12 , 4D006KB30 , 4D006PA01 , 4D006PB02 , 4D006PB70 , 4D006PC02 , 4D024AA03 , 4D024AB13 , 4D024BA17 , 4D024BC01 , 4D024DB05 , 4D025AA04 , 4D025AB36 , 4D025BA08 , 4D025BA22 , 4D025BA27 , 4D025BB02 , 4D025DA05 , 4D037AA03 , 4D037AB12 , 4D037BA18 , 4D037CA03 , 4D037CA11 , 4D050AA05 , 4D050AB17 , 4D050BB01 , 4D050BC06 , 4D050BC09 , 4D050BD02 , 4D050CA09

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-152589
超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-189025 出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社
水処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-211471 出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社

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審査官引用 (5件)

特開平2-152589
超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-189025 出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社
水処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-211471 出願人：野村マイクロ・サイエンス株式会社

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