特許

J-GLOBAL ID：200903057569079281

感光性ポリマー及びこれを含む化学増幅型フォトレジスト組成物

発明者： 金 賢 友 ,  權 起 永 ,  李 始 炯 ,  鄭 東 垣 ,  李 淑 ,  尹 廣 燮 ,  崔 相 俊 ,  禹 相 均
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374768
公開番号（公開出願番号）：特開2001-200014
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【課題】 主鎖が完全にノルボルネン型の脂環式ユニットだけから構成された感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 式:【化1】(式中、R1は酸により分解される第3アルキルエステル基であり、R2は水素原子、メチル、エチル、カルボキシル、γ-ブチロラクトン-2-イル-エステル、γ-ブチロラクトン-3-イル-エステル、パントラクトン-2-イル-エステル、メバロニックラクトンエステル、3-テトラヒドロフラニル-エステル、2,3-プロピレンカーボネート-1-イル-エステル、3-メチル-γ-ブチロラクトン-3-イル-エステルまたは炭素数3〜20の脂環式炭化水素化合物であり、a/(a+b+c)=0.1〜0.7であり、b/(a+b+c)=0.1〜0.8であり、c/(a+b+c)=0.0〜0.8であり、nは0〜2の整数である。)で示される感光性ポリマーである。

請求項（抜粋）：

式I:【化1】(式中、R1は酸により分解される第3アルキルエステル基であり、R2は水素原子、メチル、エチル、カルボキシル、γ-ブチロラクトン-2-イル-エステル、γ-ブチロラクトン-3-イル-エステル、パントラクトン-2-イル-エステル、メバロニックラクトンエステル、3-テトラヒドロフラニル-エステル、2,3-プロピレンカーボネート-1-イル-エステル、3-メチル-γ-ブチロラクトン-3-イル-エステルまたは炭素数3〜20の脂環式炭化水素化合物であり、a/(a+b+c)=0.1〜0.7であり、b/(a+b+c)=0.1〜0.8であり、c/(a+b+c)=0.0〜0.8であり、nは0〜2の整数である。)で示される感光性ポリマー。

IPC (10件)：

C08F 32/04 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/17 ,  C08K 5/36 ,  C08K 5/42 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (10件)：

C08F 32/04 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/17 ,  C08K 5/36 ,  C08K 5/42 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フォトレジスト単量体、フォトレジスト共重合体とその製造方法、フォトレジスト組成物、フォトレジストパタ-ン形成方法、および、半導体素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-241743   出願人：現代電子産業株式会社