位置合わせ装置及び位置合わせ方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259463
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065745
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 2つの対象物の位置合わせ時に、観測装置自体の位置のぶれに起因する精度の低下を防止することが可能な位置合わせ装置を提供する。【解決手段】並進移動可能な可動部に取り付けられた第1保持手段が、第1対象物を保持する。可動部に取り付けられた第1検出手段が、第1観測座標系における観測対象物の位置座標を検出する。第2保持手段が、第1保持手段に保持された第1対象物から微少間隙を隔てて、対向面同士を相互に対向させるように第2対象物を保持する。第2保持手段に対する相対位置が拘束された第2検出手段が、第2観測座標系における観測対象物の位置座標を検出する。第2検出手段は、可動部を移動させることによって第1対象物を観測することができる。座標関連づけ手段が、第1観測座標系と第2観測座標系とを関連づける。可動部をX軸方向に移動させることによって、第1検出手段が、第2対象物を観測することができる。

請求項（抜粋）：

XYZ直交座標系を考えたとき、可動部をX軸方向に並進移動可能に保持する直動機構と、前記直動機構の可動部に取り付けられ、第1の対象物を保持する第1の保持手段と、前記直動機構の可動部に取り付けられ、XY面に平行な第1の観測座標系における観測対象物の位置座標を検出する第1の位置検出手段と、前記第1の保持手段に保持された第1の対象物からZ軸方向に微少間隙を隔てて、対向面同士を相互に対向させるように第2の対象物を保持する第2の保持手段と、前記第2の保持手段に対する相対位置が拘束され、XY面に平行な第2の観測座標系における観測対象物の位置座標を検出する第2の位置検出手段であって、前記直動機構の可動部をX軸方向に移動させることによって前記第1の保持手段に保持された第1の対象物を観測可能な前記第2の位置検出手段と、前記第1の観測座標系と第2の観測座標系とを関連づける座標関連づけ手段とを有し、前記直動機構の可動部をX軸方向に移動させることによって、前記第1の位置検出手段が、前記第2の保持手段に保持された第2の対象物を観測することができる位置合わせ装置。

IPC (6件)：

G01B 21/00 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , G01B 11/00

FI (8件)：

G01B 21/00 D , G01B 21/00 L , G03F 7/20 521 , G03F 9/00 H , H01L 21/68 F , G01B 11/00 H , H01L 21/30 531 J , H01L 21/30 510

Fターム (45件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065BB01 , 2F065BB02 , 2F065BB27 , 2F065CC20 , 2F065FF04 , 2F065PP12 , 2F065PP13 , 2F069AA03 , 2F069BB15 , 2F069DD12 , 2F069EE04 , 2F069EE26 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG45 , 2F069HH30 , 2F069MM03 , 2F069MM24 , 2F069MM34 , 2F069PP02 , 5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031HA13 , 5F031HA53 , 5F031HA57 , 5F031HA58 , 5F031JA04 , 5F031JA13 , 5F031JA14 , 5F031JA22 , 5F031JA32 , 5F031JA38 , 5F031JA51 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031KA08 , 5F031KA11 , 5F031KA12 , 5F031MA27 , 5F046BA02 , 5F046FA09 , 5F046FB19 , 5F046FC05

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭60-186845
特開昭62-277503
特開昭62-277504

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審査官引用 (1件)

特開昭60-186845

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