特許
J-GLOBAL ID：200903084419282710

ワークとマスクの整合機構および整合方法

発明者：
岡 村 武 彦

岡 村 武 彦 について

, 
神 田 幸 博

神 田 幸 博 について


出願人/特許権者：
株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所 について


代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265033
公開番号（公開出願番号）：特開2000-099158
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】ワークマークとマスクマークが同時に撮像手段により認識できない場合でも適切に対応でき、また、ワークマークを大径に形成しなくても対応できるワークとマスクの整合機構および整合方法を提供することを課題とする。【解決手段】マスクマークMmおよびワークマークWmを撮像する撮像手段2,2と、この撮像手段で撮像した前記両マークの画像の位置を認識して演算し記憶し制御する制御機構7と、この制御機構からの制御信号により前記両マークの位置ずれを整合する移動手段10(11)とを備える整合機構であって、前記マスクマークが前記撮像手段で撮像して認識できなかった場合に、前回作業で認識して前記制御機構に記憶しているマスクマークの位置を疑似的な基準として、前記両マークの位置ずれ量を算出して両マークの整合作業を行うワークとマスクの整合機構として構成した。
請求項（抜粋）：
パターンを有するマスクの整合用のマスクマーク、および、ワークのワークマークを撮像する撮像手段と、この撮像手段で撮像した前記両マークの位置を認識して演算し記憶し制御する制御機構と、この制御機構からの制御信号によりワークまたはマスクを移動し前記両マークの位置ずれを整合する移動手段とを備え、前記両マークの内、一方のマークの内側に他方のマークを整合する整合機構であって、前記撮像手段で撮像して前記他方のマークが認識できなかった場合に、前回作業で認識して前記制御機構に記憶している前記他方のマークの位置を疑似的な基準として、前記両マークの位置ずれ量を演算して両マークの整合作業を行うことを特徴とするワークとマスクの整合機構。
IPC (7件)：
G05D 3/12 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G03F 9/00 ,  G05B 19/19 ,  H01L 21/027 ,  H04N 7/18
FI (7件)：
G05D 3/12 L ,  G01B 11/00 H ,  G01B 21/00 H ,  G03F 9/00 Z ,  G05B 19/19 H ,  H04N 7/18 B ,  H01L 21/30 502 J
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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