特許

J-GLOBAL ID：200903057631857504

被膜部材および成膜方法

発明者： 齋藤 晴貴
出願人/特許権者： 東北リコー株式会社
代理人 (3件)： 柏木 慎史 ,  小山 尚人 ,  柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-302693
公開番号（公開出願番号）：特開2004-137547
出願日： 2002年10月17日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】コストの高い基板を使用することなく品質の高いZnO系薄膜を得る。【解決手段】70%以上の酸化亜鉛と、酸化亜鉛の割合xに対してyの割合で混晶させた酸化亜鉛とは異なる任意の金属Mの酸化物とを混晶させた混晶ZnxMyOを、基材2の表面に薄膜状に形成した酸化亜鉛系薄膜17を有する被膜部材Xを得るようにした。これにより、結晶性が高く、結晶粒サイズの大きい酸化亜鉛系薄膜17を形成することができ、酸化亜鉛系薄膜17中における結晶粒界の数を減らして、品質が高く工業生産に適した酸化亜鉛系薄膜を、コストの高い基板を使用することなく形成することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

金属合金材料によって形成された基材と、 前記基材の表面に形成されて、70%以上の酸化亜鉛と、酸化亜鉛の割合xに対してyの割合で混晶させた酸化亜鉛とは異なる任意の金属の酸化物とを混晶させた薄膜状の混晶によって形成された酸化亜鉛系薄膜と、 を具備する被膜部材。

IPC (4件)：

C23C16/40 ,  C01G9/00 ,  C30B29/16 ,  H01L21/205

FI (4件)：

C23C16/40 ,  C01G9/00 B ,  C30B29/16 ,  H01L21/205

Fターム (38件)：

4G047AA04 ,  4G047AB01 ,  4G047AD02 ,  4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BB07 ,  4G077BC60 ,  4G077DA03 ,  4G077DA05 ,  4G077DB08 ,  4G077ED06 ,  4G077SA04 ,  4G077TA04 ,  4G077TK01 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA47 ,  4K030BB06 ,  4K030CA02 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030JA09 ,  5F041AA40 ,  5F041CA41 ,  5F041CA65 ,  5F041CA66 ,  5F045AA04 ,  5F045AB00 ,  5F045AC07 ,  5F045AC16 ,  5F045AC19 ,  5F045AD06 ,  5F045AE29 ,  5F045AF10 ,  5F045BB12 ,  5F045BB16 ,  5F045CA11 ,  5F045DA53

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-021297
  
• 特開昭54-048100
  
• 光導電部材及びその製造方法並びに電子写真用感光体、光センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-350014   出願人：東北リコー株式会社