特許

J-GLOBAL ID：200903041125523572

光導電部材及びその製造方法並びに電子写真用感光体、光センサ

発明者： 羽賀 浩一 ,  野口 雅弘 ,  武田 裕之
出願人/特許権者： 東北リコー株式会社
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350014
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168035
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 酸化亜鉛薄膜に第I族元素を不純物としてドーピングして所定のキャリア濃度のコントロールを行い、光応答特性のよい光導電部材及びその製造方法を提供する。【解決手段】 亜鉛アセチルアセトナートと酸素ガスとLi(DPM)とを原料に用い、常圧の有機金属化学気相成長法によりLi添加ZnO薄膜2を形成することで、ドーピング量及びキャリア濃度の制御が容易な条件下に、抵抗率が増加しかつ光応答特性が向上するLi添加ZnO薄膜2を作成できる。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛及び周期律表の第I族元素の原料としてβ-ジケトン系の有機金属を用い、前記酸化亜鉛を母材とする半導体薄膜に前記第I族元素を不純物としてその不純物濃度が10-5〜10[at・%]なる範囲でドーピングさせるようにした光導電部材の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/30 ,  G03G 5/08 102 ,  H01L 31/08

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/30 ,  G03G 5/08 102 ,  H01L 31/08 Q

Fターム (33件)：

2H068AA25 ,  2H068BA57 ,  2H068CA22 ,  2H068CA51 ,  2H068CA60 ,  2H068EA24 ,  2H068EA27 ,  2H068FA14 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030AA20 ,  4K030BA47 ,  4K030FA01 ,  4K030FA03 ,  4K030FA10 ,  4K030JA06 ,  4K030LA11 ,  4K030LA17 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045AC19 ,  5F045CA13 ,  5F045CA16 ,  5F088AA11 ,  5F088AB09 ,  5F088AB17 ,  5F088BA02 ,  5F088BB08 ,  5F088CB04 ,  5F088LA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 紫外線検出素子とそれを用いた紫外線検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-341697   出願人：積水化成品工業株式会社
• II-VI族化合物半導体の成長方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-141237   出願人：ソニー株式会社
• マイクロ波プラズマCVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-005240   出願人：キヤノン株式会社
• 特公昭45-010274