特許

J-GLOBAL ID：200903057635770870

低発泡領域を有する研磨パッドおよびその製造方法

発明者： 田畑 憲一 ,  谷口 孝 ,  橋阪 和彦
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-074028
公開番号（公開出願番号）：特開2007-245308
出願日： 2006年03月17日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】 研磨時の加工終点を検出することができ、かつ、研磨速度の面内均一性が高く、研磨時のパッド寿命が確保された研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法を提供する。 【解決手段】 発泡構造を有する研磨層からなる研磨パッドであって、周辺と同一組成であり、かつ周辺よりも低発泡である領域を有することを特徴とする研磨パッド。 【選択図】なし

請求項（抜粋）：

発泡構造を有する研磨層からなる研磨パッドであって、周辺と同一組成であり、かつ周辺よりも低発泡である領域を有することを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304

FI (2件)：

B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB08 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第3431115号公報
  
• 研磨パッド
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-509557   出願人：ローデルインコーポレイテッド
• 研磨パッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-107863   出願人：日本ミクロコーティング株式会社