光硬化性組成物およびその用途

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより , 鈴木亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-345526
公開番号（公開出願番号）：特開2004-177772
出願日： 2002年11月28日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【解決手段】本発明の光硬化性組成物は、(A)光増感作用を有する、炭素クラスターおよび/またはその誘導体、(B)分子内に複数のヘテロ環を有する化合物、および、必要に応じて(C)非感光性樹脂を含有することを特徴としている。このような本発明の光硬化性組成物は、分子内にシロキサン結合を有する化合物を含有することも好ましい。【効果】本発明によれば、ネガ型フォトレジスト組成物として好適に使用でき、高い感度特性で微細なパターンを形成でき、耐熱性、耐薬品性、絶縁性に優れた硬化膜を製造できる光硬化性組成物を提供することができる。本発明の光硬化性組成物を用いると、半導体素子、液晶素子などの製造や、各素子の実装分野で使用される感光性絶縁膜を、少ない熱履歴/光照射履歴で製造することができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)光増感作用を有する、炭素クラスターおよび/またはその誘導体、 (B)分子内に複数のヘテロ環を有する化合物、および、必要に応じて (C)非感光性樹脂を含有することを特徴とする光硬化性組成物。

IPC (7件)：

G03F7/004 , C08F8/00 , C08G59/14 , C08G73/10 , G03F7/038 , G03F7/075 , H01L21/027

FI (9件)：

G03F7/004 503Z , G03F7/004 501 , C08F8/00 , C08G59/14 , C08G73/10 , G03F7/038 501 , G03F7/038 504 , G03F7/075 511 , H01L21/30 502R

Fターム (77件)：

2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC12 , 2H025BC42 , 2H025BC69 , 2H025BC78 , 2H025BC81 , 2H025BE00 , 2H025CA48 , 2H025CC20 , 4J036AE07 , 4J036AF06 , 4J036CA30 , 4J036HA01 , 4J036HA02 , 4J036HA03 , 4J036JA09 , 4J043RA34 , 4J043SA06 , 4J043SA46 , 4J043SA47 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SA85 , 4J043TA04 , 4J043TA12 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043UA031 , 4J043UA041 , 4J043UA051 , 4J043UA082 , 4J043UA092 , 4J043UA121 , 4J043UA131 , 4J043UA141 , 4J043UA212 , 4J043YB01 , 4J043YB06 , 4J043YB21 , 4J043YB22 , 4J043YB32 , 4J043YB35 , 4J043YB37 , 4J043ZB22 , 4J100AB02Q , 4J100AB03Q , 4J100AB07P , 4J100AJ01P , 4J100AJ02P , 4J100AJ08P , 4J100AJ09P , 4J100AJ10P , 4J100AL03Q , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL09P , 4J100AL09Q , 4J100AS02Q , 4J100AS03Q , 4J100BA03P , 4J100BA16P , 4J100BA42Q , 4J100BC43P , 4J100BC43Q , 4J100CA31 , 4J100HA25 , 4J100HA61 , 4J100HC38 , 4J100HC63 , 4J100HC72 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-243450 出願人：理化学研究所

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