定点検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-063901
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270189
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】正確な定点を得ることができる定点検出装置を提供することを目的とする。【構成】基板31の上面31Aに形成された2つのホログラフィック回折格子32、33は、中心面35に関して互いに対称的な構成を有する。即ち、2つのホログラフィック回折格子32、33の格子ベクトルは中心面35に関してに互いに対称的に傾斜し、また各格子間隔dは等しい。それによって絶対値が等しい正負の回折角±θを有する回折光1A、1Bが得られ、斯かる回折光の回折角±θは測定軸に沿って変化しない。また正負の同次回折光の間の光強度の差が大きい回折光が得られる。従って、光源12の光の波長が変化しても、又は受光器22、23の位置が変化しても正確な定点が得られる。

請求項（抜粋）：

互いに隣接して配置された2つのホログラムと該2つのホログラムに光を出力する光源と上記2つのホログラムによって回折された光をそれぞれ検出する受光器とを有し、上記2つのホログラムを上記光源及受光器に対して相対的に測定軸方向に沿って移動させるとき、上記2つの受光器によって検出される信号の大きさが等しくなる点を求めることによって定点を得るように構成された定点検出装置において、上記一方のホログラムによる回折光の回折角と上記他方のホログラムによる回折光の回折角は互いに符号が反対で絶対値が等しく且つ測定軸方向に沿って一定であり、上記2つのホログラムによる正負の同次回折光の間の光強度差が大きいように構成されていることを特徴とする定点検出装置。

IPC (3件)：

G01D 5/38 , G01B 11/00 , G01D 5/30

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-324316
特開昭61-182523
特開昭49-076427

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審査官引用 (2件)

特開平4-324316
特開昭61-182523

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